NST 2020년도 융합연구단사업, '플라즈마 공정장비 지능화' 선정
NST 2020년도 융합연구단사업, '플라즈마 공정장비 지능화' 선정
  • 이정화 기자 dahhyun@dailycc.net
  • 승인 2020.10.13 16:38
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[충청신문=대전] 이정화 기자 = 국가과학기술연구회(NST)는 2020년도 융합연구단사업으로 국가핵융합연구소 주관 '반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술개발 및 실증' 과제를 선정했다고 13일 밝혔다.

연구단에는 NST 소관 국가핵융합연구소, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 한국표준과학연구원과 충남대학교 등 7개 대학의 반도체 장비 산업 관련 연구인력 100여명이 참여한다.

연구는 군산시 소재 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터에서 진행하며 다음달부터 6년간 440억원이 투입된다.

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