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고려대 세종캠퍼스 연구팀, 동상수상

제어계측공학과 연구팀, 3회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지 동상

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  • 입력 : 2018.10.21 15:36
  • 기자명 By. 임규모 기자
고려대 세종캠퍼스 제어계측공학과 연구팀이‘제3회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’에서 동상을 수상했다.
고려대 세종캠퍼스 제어계측공학과 연구팀이‘제3회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’에서 동상을 수상했다.
[충청신문=세종] 임규모 기자 = 고려대 세종캠퍼스 제어계측공학과 연구팀이 대한기계학회와 국내 반도체 및 디스플레이 제조 장비업체인 SEMES가 주최하고 과학기술정보통신부와 산업통상자원부가 후원하는 ‘제3회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’에서 동상을 수상했다.

박진성 교수 연구팀인 ‘제어계측공학과 NaBios’은 ‘반도체 공정 후 발생 잔류가스 처리기 배출 가스의 질소산화물·온도·습도 모니터링 및 피드백 제어시스템 기술 개발’이라는 이름으로 진출, 반도체 공정 후 발생하는 유독가스를 효과적으로 처리하기 위한 방법으로 추가 제어시스템을 제안했다.

이는 기존 기술인 스크러버(잔류가스 처리기)에 산화그라핀옥사이드 젤 기술로 유독가스를 검출, 제어하는 원리이다.

심사는 서류 평가, 발표 평가로 진행됐다. 입상 팀 모두 SEMES 입사 시 특전이 주어진다. 동상 수상 팀에게는 100만원의 상금도 지원된다.

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