6일 ETRI에 따르면 고밀도 집적이 가능한 고성능·고신뢰 신축성 무기 박막 트랜지스터 기술 개발에 성공해 세계적 과학 전문지 네이처 커뮤니케이션즈에 게재됐다.

스트레처블 디스플레이는 차세대 디스플레이 패널로 활용성 높은 고해상도 디스플레이 구현을 위해 고성능 신축성 반도체 소자가 필요하다.

그동안 신축성 반도체 소자는 주로 유연한 유기물 소재가 사용됐으나 실리콘, 금속산화물 등 단단한 무기물 분야로 연구가 확장되고 있다.

이에 ETRI 연구진은 세계 최초 무기 산화물 전자소자를 신축성 금속 배선 위에 직접 올리는 반도체 소자구조 개발에 성공했다.

개발한 반도체 소자는 기존 신축성 산화물 반도체 소자 대비 소자 집적도가 약 15배 향상됐으며, 전류 구동 성능 역시 2배 이상 높아졌다.

연구진은 구불한 말발굽 형태의 폴리이미드 유연 기판 배선 위에 고성능 산화물 반도체 트랜지스터를 고밀도로 집적해 신축성 소자를 구현했다.

이는 반도체 표준공정과 호환될 뿐만 아니라 디스플레이, 스마트폰, TV 등 다양한 스트레처블 제품에 적용 가능해 주목받고 있다.

오힘찬 선임연구원은 “스트레처블 전자소자 기술을 통해 우리나라가 차세대 반도체·디스플레이 분야를 선점할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.